Schwefeldioxid ist das häufigste Zersetzungsnebenprodukt, das bei der SF₆ Gasqualitätsanalyse gemessen wird. Im Gegensatz zu den meisten anderen Zersetzungsprodukten ist es nach der Entstehung relativ unreaktiv, so dass seine Konzentration im Laufe der Zeit stabil bleibt, so dass die Messergebnisse als Parameter zur Zustandsbewertung zuverlässiger sind.

Seit 2012 werden alle 973-SF₆ Analysatoren „SO₂ ready“ produziert. Dies bedeutet, dass die SO₂ Messung während der Produktion oder zu einem späteren Zeitpunkt durch den Anwender einfach hinzugefügt werden kann. Die Messung basiert auf einer austauschbaren elektrochemischen Sensorzelle, die im Gasweg in der Nähe des Probeneinlassanschlusses montiert ist. Es sind 0…100 oder 0…500 ppm-Bereiche verfügbar.

Die SO₂ Messleistung wird durch mehrere Faktoren beeinflusst, die in Kombination zu Messfehlern führen können. Aus diesem Grund wird die Messgenauigkeit unter ≤ ±2 % des Messwertes angegeben. Um diese Spezifikation zu erfüllen, werden alle SO₂ Sensoren für den Einsatz mit dem 973-SF₆ einzeln in gravimetrisch aufbereiteten SF₆/SO₂ Gasgemischen über ihren spezifizierten Bereich kalibriert.